Оборудование для контроля чипов должно полностью заместить поставки из Японии, которые заблокированы санкциями.
По информации Cnews, «ЗНТЦ» должен разработать промышленно-ориентированную установку сканирующего электронного измерительного микроскопа (CD-SEM) для контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец изготавливается в исполнении для пластин 200 мм.
Оборудование предназначено для неразрушающего контроля и измерения критических размеров элементов топологического рисунка на поверхности кремниевых пластин — ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур и шероховатости края линии.
Функциональными аналогами разрабатываемого оборудования выступают японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию заблокированы санкциями. Прямых отечественных аналогов не существует.
Критические комплектующие: электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Применение импортных комплектующих допускается только по согласованию с заказчиком.
Согласно техническому заданию, исполнитель также должен провести сравнение разрабатываемой установки с лучшими зарубежными аналогами. Наработка на отказ должна составлять не менее 1000 часов, срок службы — не менее 10 лет.