Sematech выступит с девятью докладами на Международном [[симпозиуме по экстремальной ультрафиолетовой литографии]] (2007 International EUVL Symposium, 29 - 31 октября, 2007 Саппоро, Япония)
Об этом сообщил Michael Lercel, директор литографической программы из Sematech. На симпозиуме будут рассмотрены проблемы, связанные со снижением дефектности шаблонов, с разработкой более эффективных оптических систем и устройств манипулирования фотооригиналом.
Sematech (SEmiconductor MAnufacturing TECHnology) – некоммерческая организация, проводящая фундаментальные исследования в области полупроводникового производства. Решение о создании организации было принято в 1986 году, в 1987 был создан рабочий аппарат, а в 1988 организация приступила к работе. Sematech сотрудничает с правительством США и 14 ведущими американскими полупроводниковыми компаниями. Большую часть исследований финансирует Департамент обороны США (Department of Defense, DoD) через DARPA.