Разработана технология встраивания диэлектрических датчиков в микросхемы


Компания ChipSensors предложила использовать low-k диэлектрики для создания датчиков влажности, температуры, [[состава газа]]

При производстве субмикронных схем широко используют диэлектрики с малым значение электрической постоянной (low-k). Эти материалы имеют пористую структуру. Их электрические характеристики зависят внешних факторов, для защиты от которых поверхность кристаллов пассивируют.

Компания ChipSensors предложила использовать low-k диэлектрики для создания датчиков влажности, температуры, состава газа. Для этого в поверхностном слое микросхемы вытравливают окна определенной формы и размеров, через которые «среда» проникает в диэлектрик. Такие вскрытые участки вместе со специально созданными контактами образуют емкостные датчики. Информация с этих датчиков может поступать на электронные схемы обработки (усилители, микроконтроллеры и пр.), размещенные на этом же кристалле.

У будущих потребителей «сенсорных» микросхем имеется ряд вопросов, связанных с надежностью таких кристаллов, с параметрами датчиков, их точностью. Пока компания представила прототип микросхемы, изготовленной по 0.18 мкм технологии в Центре микроэлектроники (Interuniversities Microelectronics Center) в Бельгии в рамках европейской инициативы Europractice. Собственной производственной базы Компания ChipSensors не имеет.

 

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *