Недавно компания Wuhan Taiziwei Optoelectronics Technology Co., Ltd. в Китае выпустила фоторезист T150 A, который успешно прошёл проверку на массовом производстве полупроводников. Ожидается, что благодаря полностью разработанной формуле это достижение откроет новую эру в производстве полупроводников в Китае.
По информации TrendForce, фоторезист T150 A сопоставим с основной серией фоторезистов KrF от ведущих международных компаний. По сравнению с широко известным продуктом UV1610 из той же серии, T150 A демонстрирует экстремальное разрешение 120 нм в процессе литографии, обеспечивает большую технологическую гибкость, более высокую стабильность и отличную адгезию после запекания
Кроме того, он лучше сочетается с последующими процессами травления. Проверка показала, что плотные узоры, нанесённые с помощью T150 A, демонстрируют превосходную вертикальность боковых стенок в базовом диэлектрике после травления.
По словам представителей отрасли, среди фоторезистов серии KrF фоторезист UV1610, по которому сравнивается T150 A, считается «широко используемым» и пользующимся большим спросом. В настоящее время китайские производители, такие как Beijing Kehua и Xuzhou Bokang, могут производить UV1610.
В настоящее время Китай по-прежнему сильно зависит от импорта фоторезиста для производства полупроводников, особенно для продукции высокого класса. Крупнейшим источником импорта фоторезиста для Китая является Япония.
Согласно данным Главного таможенного управления Китая, в 2023 году общая стоимость импорта светочувствительных химических веществ в Китай достигла 2,177 миллиарда долларов США, при этом импорт из Японии составил 1,149 миллиарда долларов США, что составляет 52,8% от общей суммы.
С января по июнь 2024 года импорт из Японии составил 638 миллионов долларов США, что на 16,7% больше, чем в прошлом году. Только во втором квартале 2024 года общая стоимость импорта составила 338 миллионов долларов США, что на 15,6% больше, чем в прошлом году, и на 12,6% больше, чем в предыдущем квартале. Доля Японии в импорте в среднем составляла 51,5%, оставаясь на исторически высоком уровне в последние годы.
В глобальном масштабе на рынке фоторезистов доминируют японские и американские производители. Шесть крупных компаний — JSR Corporation (Japan Synthetic Rubber), Tokyo Ohka Kogyo (TOK), DuPont-Rohm and Haas (США), Shin-Etsu Chemical (Япония), Sumitomo Chemical (Япония) и Fujifilm Electronic Materials (Япония) — обладают значительной монополией на рынке полупроводниковых фоторезистов.
Более того, ведущие производители в Японии, Южной Корее, Европе и США уже наладили массовое производство высококачественных фоторезистов. В Китае, напротив, уровень локализации производства фоторезистов остаётся низким. Согласно отраслевым данным, доля внутреннего производства фоторезиста KrF в Китае составляет менее 5%, а доля фоторезиста ArF — менее 1%.
Несмотря на эти трудности, в последние годы индустрия фоторезистов в Китае стремительно развивается. В настоящее время Китай стал одним из крупнейших мировых рынков фоторезистов. В этой отрасли работают десятки отечественных компаний, и некоторые из них добились значительных успехов. Среди них можно выделить bcmaterial, RedAvenue, Jingrui, Shanghai Sinyang и Nata Optoelectronic Material.