Директор группы технологий и производства (Technology and Manufacturing Group) корпорации Intel Валлури Рао (Valluri R. Rao) в докладе «Новые парадигмы масштабирования для MEMS-приложений» (New paradigms of scaling for MEMS application), представленном на 4-й Международной конференции по нанотехнологиям INC4 (4th International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation, 14-17 апреля 2008, Токио, Япония) ознакомил слушателей с концепцией миниатюризации MEMS-устройств.