MEMS в ярком свете ночного солнца

Записки репортёра EE Times о посещении финских заводов и университетов, занимающихся исследованиями, разработкой и созданием MEMS-устройств.

Недавно мне посчастливилось быть приглашенным на экскурсию по оживленному MEMS-кластеру, который существует в отдаленном районе к северу от Хельсинки, Финляндия. Я прибыл в аэропорт Хельсинки вечерним рейсом из Лондона в 11 вечера, но несмотря на позднее время, было еще сравнительно светло.

На следующее утро погода была теплая и безоблачная, и я отправился на завод по производству MEMS-пластин компании Oyj Okmetic в Вантаа.

Завод по производству пластин компании Okmetic в Вантаа, Финляндия. Участок для производства более толстых пластин типа кремний-на-диэлектрике (SOI-пластин) для MEMS приложений находятся в противоположной части здания.

Меня встретило руководство Okmetic:

Анна-Рикка Вюрикари-Антикайнен (Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen), старший вице-президент по продукции и Маркку Тили (Markku Tilli), старший вице-президент по исследованиям

От монокристаллов к графену
На встрече с генеральным директором Okmetic Кай Секку (Kai Seikku) и сотрудниками предприятия мы смогли увидеть то, что делает компания Okmetic: производство кремниевых монокристаллов и резка их на пластины.

Беседа в совещательной комнате касалась целей, которые поставила перед собой Okmetic

На совещании было сказано, что Okmetic изготавливает кремниевые пластины, в том числе SOI, а производство MEMS-устройств происходит в режиме аутсорсинга. Был также продемонстрирован следующий слайд:

Карта изделий, производимых в MEMS-кластере в районе Хельсинки, в том числе, в университете Аалто (Aalto University) и в исследовательском центре VTT (VTT Resarch Center), где производятся такие экзотические материалы как графен, который, по прогнозам, должен сыграть свою роль в MEMS-изделиях и обычных ИС.

Хельсинки ночью
У меня было время для краткого тура по центру Хельсинки с Анной-Рикка Вюрикари-Антикайнен из Okmetic, Юсси Tуовинен (Jussi Tuovinen), вице-президентом по проектной и исследовательской работе в Техническом исследовательском центре Финляндии (VTT Technical Research Centre) и Ансси Блумквистом (Anssi Blomqvist), продукт-менеджером по развитию MEMS-изделий компании Murata Electronics Oy.

Три Кузнеца — знаменитая статуя работы Феликса Ньюланда (Felix Nylund), установленная в 1932 году, и расположенный за ней магазин «Стокманн» в центре Хельсинки. Вполне подходящий символ моей поездки — технология изготовления MEMS-изделий является современным эквивалентом искусства кузнецов.

По словам Юсси Tуовинена, в кофейне «Каппели», которая находилась здесь же, но под другим именем, в XIX веке любил бывать Ян Сибелиус, где, в процессе бесед между студентами и великим маэстро о Хельсинки, родилась идея о независимой Финляндии.

Вид из гавани Хельсинки на остров, на котором находится шведский форт.

Прощай VTI, привет Murata

Ну почему в финских отелях нет плотных штор, чтобы закрыться от ночного света?! Ответ заключается в том, что местные жители и гости, которые уже какое-то время находятся здесь, привыкли к тому, что комната в 3 часа ночи освещена яркими лучами солнца.

Очередной прекрасный летний день и вечер мы провели в гостях у компании-производителя MEMS-изделий VTI Technologies, которая была недавно куплена фирмой Murata Manufacturing Co. Ltd. Водитель такси по второму кругу подъезжает к зданию и говорит мне: «Я уверен, это должно быть здесь». Это нормально, сегодня первый день официального изменения имени на Murata Electronics Oy.

Здание фабрики компании Murata для производства пластин для MEMS-компонентов в Ванта.

Внутри здания президент Цунео Мурата (Tsuneo Murata) общался с сотрудниками в первый день работы фабрики под новым названием. Мне удалось провести интервью, которое я озаглавил как «Murata хочет построить мост от MEMS-изделий к интернет-вещам». Я также встретился с другим членом «семьи Мурата».

В столовой фабрики Murata в Ванта — фигура мальчика с логотипом Murata, балансирующего на велосипеде.

VTT и MEMS-кластер в Финляндии

Конечный пункт моего беглого тура по MEMS-кластерам, который начался в Хельсинки, был в Научно-исследовательском Технический Центр Финляндии (VTT Technical Research Centre of Finland) в городе Эспоо.

В здании находится фабрика Micronova, выпускающая 150-мм и 200-мм пластины, которые используются для работы в целом ряде исследовательских проектов в VTT и университете Аалто.

Фабрика также использовалась компанией Memsfab, входящей в группу компаний VTT, для производства небольшого объема ИС.

Технический центр VTT известен своими серьезными работами в области MEMS-исследований. Профессор Аарне Оя (Aarne Oja), директор программы высокопроизводительных микросистем в VTT, вкратце рассказал о научно-техническом прогрессе в создании кремниевых мембран для MEMS-микрофонов. Яркко Aнтила (Jarkko Antila), старший научный сотрудник, специализирующийся на исследованиях фотонных устройств, говорил об оптических датчиках с использованием MEMS-технологии, основанных на принципах интерферометрии Фабри-Перо.

Наконец, Юсси Tуовинен рассказал о сотрудничестве в рамках различных инициатив, таких как «Альянс гетерогенных технологий» (HTA), который в течение последних нескольких лет наблюдает координирует работу VTT с институтами CSEM (Невшатель, Швейцария), Фраунгофера (Германия) и CEA-Лети (Гренобль, Франция). Юсси Tуовинен отметил, что HTA имеет общую SOI-MEMS платформы.

Юсси Tуовинен также рассказал о разработках по проекту MEMScat, предназначенным для ускоренного формирования MEMS-экосистемы в Финляндии. Цель работ состоит в том, чтобы снизить расходы на стартапы микросистем и пороговый уровень для создания стартапов МЭМС/микросистем. В рамках проекта MEMScat предполагается привлечь предприятия, предпринимателей и инженеров в Финляндию, чтобы вовлечь их в работу по созданию MEMS-устройств.

MEMS в Финляндии. Технический исследовательский центр VTT

По завершении визита в VTT, спустя несколько минут езды на такси, я оказался в аэропорту в Вантаа и вылетел в Лондон, в аэропорт Хитроу. Если бы я был предпринимателем или исследователем, поехал бы я в Хельсинки, чтобы начать свой MEMS бизнес? Я думаю, что да, но только если в отеле будут тяжелые занавески для защиты от ночного света.

Источник: EE Times

Оставьте отзывОтмена