Intel видит техническую возможность производства 10-нм кристаллов

На недавно состоявшемся Форуме Intel для разработчиков Марк Бор, директор отдела технологий и производства, заявил о том, что его компания нашла способ создания 10-нм процесса с использованием иммерсионной литографии, а первые 14-нм кристаллы появятся до конца 2013 г.

По словам Бора, освоение 10-нм процесса начнется в 2015 г. или позже. Для некоторых масочных слоев потребуется применение метода четырехкратного экспонирования, который, однако, не будет дорогостоящим. При этом Бор не уточнил планы Intel относительно 14- и 10-нм техпроцессов, отметив только принципиальную техническую возможность их освоения.

Intel уже давно занимается совершенствованием литографии глубокого ультрафиолета (EUV). Недавно Intel инвестировала 4,1 млрд долл. в совместную с ASML программу, которая позволит быстрее освоить новые проектные нормы. По словам Бора, разработка метода EUV очень важна для компании, но она не ограничивается лишь этой технологией, продолжая исследовать возможности иммерсионной литографии с многократным экспонированием.

Марк Бор, Intel

В производстве некоторых 14-нм кристаллов Intel будет использоваться метод двойного экспонирования, а на меньших проектных нормах – четырехкратного.

На 14 нм увеличится стоимость кремниевых пластин (что связано с применением двойного экспонирования), однако она компенсируется большей плотностью элементов. В результате стоимость пластин с учетом количества транзисторов будет уменьшаться с каждым следующим поколением.

По словам Бора, эта тенденция будет наблюдаться и на 10 нм даже при использовании иммерсии. На текущий момент освоение фотолитографии глубокого ультрафиолета идет меньшими темпами, чем хотелось бы, и на нее нельзя полагаться наверняка. В то же время Intel – возможно, последняя компания, которая продолжает осваивать новый техпроцесс каждые два года.

Группы разработчиков Intel в Орегоне изучают возможности техпроцессов, транзисторов, межсоединений, памяти, но не все их усилия дают ожидаемые результаты.

Отдельно Бор остановился на политике Intel в области производства кристаллов для других компаний. По его словам, фаундри-модель для Intel не является самоцелью, но этот бизнес потихоньку приносит свои плоды. Помимо прямой выгоды от продажи пластин, которую получает Intel, ее инженеры, сотрудничая с разработчиками других компаний, постигают способы оптимизации техпроцессов с учетом конкретных требований.

Intel рассматривает много разных вариантов техпроцессов, в т.ч. и тех, которые не отображены на этом слайде

Источник: EE Times

Оставьте отзывОтмена