Бельгийский исследовательский центр IMEC сообщает, что договорился с производителем литографических систем ASML Holding NV о поставке опытного образца установки EUV (extreme ultra violet), которая будет смонтирована на принадлежащей Центру 300 мм фабрике [[в 2010 году]]
В заявлении говорится, что эта сделка позволит IMEC и партнерам проводить исследования 22 нм CMOS схем на «самом современном литографическом оборудовании».
Исследовательский центр IMEC создан для реализации программ по исследованию нанотехнологий с цель «продления жизни» или замены современной CMOS технологии. Программа IIAP (Industrial Affiliation Program) предполагает исследовать нанотехнологию как средство масштабирования размеров приборов, изучить disruptive технологии или предложить новые парадигмы, способные обеспечить дальнейшее развитие полупроводниковой промышленности.