FujiFilm и IMEC создали новую фоторезистивную технологию для субмикронного процесса производства органических полупроводников.
В последние годы значительно возросло внимание к исследованиям и разработке органических полупроводников, что вызвано их легкостью, гибкостью и возможностью их изготовления на большой площади.
Органические полупроводники могут использоваться в различных применениях, таких как органические солнечные элементы, гибкие дисплеи, органические фотодетекторы и разные виды датчиков.
Среди современных методов формирования органических полупроводников известны теневая маска и струйная печать. Однако эти методы формирования не подходят для высокоточного формирования структур на подложках большого размера. Формирование структур на основе фотолитографии может решить эту проблему. Фотолитография сейчас широко применяется для формирования кремниевых полупроводников. Если применить ее для органических полупроводников, используя стандартные фоторезисты, то фоторезист растворит материал органического полупроводника во время обработки.
FujiFilm и IMEC разработали новую технологию фоторезиста, позволяющую производить субмикронное формирование структур на подложках большого размера без повреждения органических полупроводниковых материалов.
Новая фоторезистивная технология была разработана благодаря совмещению технологий производства полупроводников FujiFilm и IMEC с технологией создания искусственных органических материалов Fujifilm.
В связи с тем, что может быть использовано существующее оборудование фотолитографии i-линии (365 нм) и не нужны инвестиции в новое оборудование, новая технология способствует организации высоко рентабельного производства органических полупроводниковых устройств.
Для технической проверки новой фотолитографической технологии, FujiFilm и IMEC спроектировали органические фотодетекторы и органические светодиоды и испытали их работоспособность.
Читайте также:
Создан эластичный прозрачный светодиодный дисплей
IHS: в 2014 г. ожидается бум на рынке гибких OLED
Физики протестировали гибкие органические полупроводники
Печатаемые устройства – следующая стадия эволюции электроники
OLED-технологии приковывают к себе всё больше внимания
Меланин оказался «зеленым» полупроводником
Разработан полностью органический транзистор для схем памяти
Создан амбиполярный органический материал
Источник: Electronics Weekly