Фабрика GlobalFoundries в Дрездене получит 20-нм техпроцесс для изготовления 450-мм пластин: фоторепортаж


Впечатления журналиста о путешествии по заводскому комплексу Fab 1 компании GlobalFoundries в Дрездене и о том, «как сложно производить интегральные микросхемы».

Утро пятницы выдалось солнечным. Группа журналистов собралась в отеле в центре Дрездена и ожидала автобус для поездки на окраину города к заводскому комплексу Fab 1 компании GlobalFoundries (в прошлом — завод AMD). На одной из узких улиц города можно было видеть знаменитую церковь Фрауенкирхе (церковь Богородицы).

Вид из переулка Салзгассе на церковь Фрауенкирхе, Дрезден

Эта красивая церковь была построена в XVIII веке, но была разрушена во время бомбардировок Дрездена во время Второй мировой войны. Реконструкция церкви продолжалась до 2005 г., и окончание работ можно воспринимать как символ примирения.

Спустя 20 минут после того как автобус отправился из гостиницы, он прибыл в комплекс Fab 1 компании GlobalFoundries.

Вид на комплекс зданий завода Fab1, GlobalFoundries

Fab 1 является крупнейшей и самой современной фабрикой по производству пластин в Европе, но её показатели будут перекрыты новой фабрикой GlobalFoundries по производству 300-мм пластин по 20-нм технологии, которую собираются открыть в г. Мальта (Malta), штат Нью-Йорк. В настоящее время Fab 1 находится на промежуточной стадии реконструкции, объём капиталовложений в которую оценивается в 3 млрд долл. В результате реконструкции производственных мощностей объём изготавливаемых 300-мм пластин достигнет 80 тыс. шт. в мес. или около 1 млн шт. в год. Также в результате реконструкции будет установлено оборудование в «чистой комнате» общей площадью около 12 000 кв. футов (около 1115 м² – прим. перев.). Реконструкция фабрики началась в середине 2011 г. и завершится в 2014 г.

Строительство фабрики AMD на этом месте началось в 1996 г., а первая «чистая комната» для производства 200-мм пластин была открыта в 1999 г. Позже это первое из «чистых помещений» было освобождено для установки оборудования по производству 300-мм пластин. Сейчас фабрика обрабатывает только пластины диаметром 300-мм.
Могут ли здесь в один прекрасный день заменить оборудование и установить новое обрудование для производства 450-мм пластин? Безусловно! Это предотвратит закат фабрики и не позволит GlobalFoundries всю энергию по модернизации технологий направить на завод Fab 8 в штате Нью-Йорк.
По прибытии на завод нас встретил Рутгер Вижбург (Rutger Wijburg), вице-президент и генеральный менеджер Fab 1. Он руководил экскурсией по заводу и был первым докладчиком на презентации. Бывший сотрудник компании NXP, которая начала работать с Global Foundries 1 октября 2011 г., Рутгер Вижбург рассказал о некоторых проблемах, с которыми столкнулась компания GlobalFoundries при внедрении 28-нм технологического процесса в Дрездене в 2011 г. В ходе визита журналистов Рутгер Вижбург произнёс страстную речь, которая затронула важность сохранения существующего производства в Европе.

Рутгер Вижбург уверен, что фабрика в Дрездене не должна со временем стать отстающей, но пока никаких решений по обновлению 20-нм техпроцесса руководством GlobalFoundries не были приняты. Есть надежда, что Fab 1 в Дрездене сможет подтвердить свою значимость и получить вотум доверия у руководства GlobalFoundries так же, как сделала фабрика Leixlip компании Intel в г. Дублин, Ирландия. Так, в мае этого года было констатировано, что на производственных мощностях фабрики Leixlip в настоящее время используются устаревшие процессы, и необходимы инвестиции в размере около 1 млрд долл. США для установки технологического оборудования для производства изделий по 14-нм технологии.

Рутгер Вижбург считает, что 28-нм технология сегодня занимает лидирующие позиции. При использовании 28-нм технологического оборудования можно перейти к выпуску изделий по 20-нм технологии или производить пластины большего размера. Очевидно, что приоритетной характеристикой 28-нм оборудования является его высокая производительность. Компания планирует для привлечения новых клиентов добавить к уже выпускаемой номенклатуре изделий микросхемы встроенной памяти, аналого-цифровые ИС и радиочастотные устройства.
Акцент на такой характеристике оборудования, как производительность, не является каким-то откровением: достаточно вспомнить обсуждаемую в 2011 г. ситуацию с выходом годных изделий, изготовленных по 28-нм технологии, в результате чего компания Advanced Micro Devices была вынуждена переделывать соглашение о покупке ИС и срочно искать альтернативных поставщиков.

Была опасность в том, что GlobalFoundries может потерять заказы одного из ключевых клиентов – компании AMD – до того, как заказчик будет включён в клиентскую базу, так как AMD переместила большую часть заказа на производственные мощности независимого производителя, принадлежащего фонду национального благосостояния Абу-Даби.

Рутгер Вижбург, вице-президент и генеральный директор Fab 1 компании GlobalFoundries

Рутгер Вижбург сообщил журналистам, что при перемещении любого производственного процесса возникают проблемы, и можно ожидать, что эти проблемы, как «болезни роста» будут сопровождать все бизнес-перемены. Сейчас, можно считать, что все эти тяжёлые дни уже позади, что подтверждается положительной динамикой по сравнению с соперничающей компанией United Microelectronics и заказами таких клиентов, как Qualcomm и STMicroelectronics, которые подписали контракты с GlobalFoundries на производство пластин.
Во второй половине 2012 г. более 50% продукции, изготавливаемой Fab 1 (месячный объём производства фабрики в настоящее время составляет около 50 тыс. пластин) не предназначено для AMD. По словам Вижбурга, фабрика сейчас является глобальным производителем пластин.
Большая часть презентации, которую сделал Рутгер Вижбург и в которой говорилось о кластеризации и повышении конкурентоспособности на основе кооперации, содержала призыв к европейским компаниям осуществлять инвестиции в инновации и производство. Дрезден с своими финансовыми возможностями со стороны правительства Саксонии создаёт очень широкий производственный кластер ориентированного бизнеса.

Комплекс зданий завода Fab1, GlobalFoundries

Не так часто предоставляется ​​возможность зайти внутрь современной микроэлектронной фабрики и увидеть процесс производства пластин. Инженеры и менеджеры, как правило, очень защищают производственные помещения от посетителей и обеспокоены тем, что количество дефектной продукции может увеличиться после посещения помещений посторонними лицами. Но журналисты учитывали предоставленный им шанс и были готовы к переодеванию и использованию специальных костюмов, отказу от использования своих ноутбуков и выполнения ультимативного требования хозяев «ничего не трогать! ».

Мы обратили внимание на транспортные средства, перевозящие специальные контейнеры для пластин между различным оборудованием — т.н. FOUP-контенеры. FOUP является сокращением словосочетания Front Opening Unified Pod и обозначает  контейнер, в котором сохраняется сверхчистая атмосфера, позволяющая перемещать до 25 кремниевых пластин диаметром 300 мм. Со временем сокращение в значительной степени вошло в лексикон как foup, и сейчас это слово употребляется само по себе.

Группа немецких корреспондентов слушает и конспектирует соображения о сложном технологическом процессе производства ИС

Установленные в помещениях светильники излучали жёлтый свет, что необходимо для минимизации влияния света на фоторезист в процессе перемещения пластин между оборудованием. Такой свет также избавляет производителей пластин от беспокойства, связанного с фотографированием внутри производственных помещений, что может быть причиной утраты коммерческой тайны. Приведённые в статье фотографии были сделаны для GlobalFoundries и тщательно проверены до публикации материалов.

Стальные листы уложены на пол для равномерного распределения веса машин

Дополнительный модуль все еще сравнительно пуст, но некоторое оборудование уже установлено на своё место, а оставшаяся часть оборудования проходит квалификационную проверку. Дополнительное оборудование перемещается по уложенным на пол стальным листам, что позволяет распределить нагрузку и предотвратить повреждение пола.

Цель экскурсии – 300-мм пластина для производства ИС

Пять чистых комнат фабрики соединены мостами-переходами, которые также являются чистыми помещениями.

Все наши усилия в гардеробной, одевание костюмов, перчаток, капюшонов и масок были вознаграждены в конце нашего тура по чистым помещениям фабрики GlobalFoundries в Дрездене, когда мы увидели над головой foup-контейнер с номером 001:

Теперь в аэропорт Дрездена и домой, но это уже другая история.

Источник: EE Times

Читайте также:
Globalfoundries приступила к строительству фабрики в Нью-Йорке
Производством чипов AMD займется компания Globalfoundries

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *