Нестандартное решение для обеспечения высокой точности аналоговых микросхем от [[компании Microbridge]]
Компании Microbridge предложила нестандартное решение для обеспечения высокой точности аналоговых микросхем. Разработанный ею резистивный элемент Rejustor™ MBT-303-A можно перестаивать неограниченное число раз, как в прямом, так и обратном направлениях, с точностью от 0.1% до 0.002%, с помощью электрических сигналов.
Резистивный делитель Rejustor™ MBT-303-A состоит из двух последовательно соединенных резисторов сопротивлением 30 кОм с отводом от средней точки. Сопротивление каждого плеча можно плавно менять в пределах от 24 до 30 кОм и устанавливать с точностью до 0.002%.
Для создания резистивных структур используется стандартная CMOS технология. В конце CMOS процесса в кремниевой подложке вытравливается полость, в которой формируются микроструктуры с резистивными элементами. Rejustor состоит из двух групп таких элементов – измерительных (functional resistance elements) и нагревательных (heaterresistors). Топология Rejustor™ MBT-303-A представлена на рисунке.
Измерительные резисторы изготовлены из поликремния осаждением из газовой фазы (CVD). Недостаток поликремния – большая зависимость его параметров от температуры — в данном случае играет положительную роль. Изменяя температуру поликремневых резисторов, возможно в определенных пределах менять их сопротивление.
Плавное изменение сопротивления функциональных резисторов производится их циклическим нагревом. Для этого рядом с ними размещают нагревательные резисторы. Адаптивный алгоритм нагрева работает следующим образом: измеряется величина сопротивления (при комнатной температуре), рассчитываются параметры теплового воздействия, генерируется тепловой импульса, измеряется сопротивление после воздействия (при комнатной температуре) и так до тех пор, пока не будет установлено номинальное сопротивление резистора (при комнатной температуре) с заданным допуском. Кроме изменения сопротивления, возможно также согласование температурных коэффициентов нескольких Rejustors.
Приборы могут быть использованы для внутрисхемной компенсации смещения и коррекции разброса температурных коэффициентов у различных аналоговых компонентов. Rejustor MBT-303-A выпускаются в 16-выводных корпусах QFN и 8-выводных SOIC и предлагаются по $1.67 в партиях от 1,000 штук.