Компания Precitec Optronik GmbH предлагает измерительную систему CHRocodile IT для бесконтактного измерения толщины кремниевых пластин и чипов. Особенности новой системы - бесконтактное сканирование поверхности кристалла, проведение измерений только в одной точке, измерение пластин толщиной до 1 мм.
Измерения производят при помощи специальных инфракрасных (1300 нм) интерферометрических зондов (optical probes), подключаемых к прибору оптоволоконным кабелем. В комплекте с CHRocodile IT поставляются два оптических датчика с диапазоном измерения толщин от 40 до 3500 мкм и рабочим расстоянием 23 мм. Разрешение датчиков (по оси z) 200 нм, точность 1 мкм, диаметр точки 13 мкм.
Установка может быть использована как в составе технологической линии (производства пластин), так и в лаборатории как самостоятельный прибор. Кроме измерения толщины кремниевых пластин, с помощью CHRocodile IT можно также измерять толщину многослойных пленок с записью результатов в Excel.
Основные параметры установки CHRocodile IT:
-
метод измерения — интерферометрия 4000 Гц;
-
повторяемость результатов измерения < 0.02%;
-
число измерительных каналов – 1;
-
число калибровочных таблиц – 16;
-
интерфейсы — USB, RS-232;
-
число входов синхронизации – 3;
-
длина оптоволокна 2-50 м;
-
источник света SLD 1300 нм;
-
обработка данных — DSP микроконтроллер;
-
размеры — 260х115х310 мм;
-
вес — 5 кг.
Дополнительная информация здесь
