Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока 13.12.202012.12.2020 Микроэлектроника Статьи Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является основой экспресс-контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов.