ASML начала поставки EUV-сканеров с промышленной производительностью


Cкорость выхода пластин у сканера 3400B достигает 125 пластин в час.

Как не раз сообщалось, коммерческое внедрение полупроводниковой литографии с проекцией в крайнем ультрафиолетовом диапазоне (EUV) затруднено из-за отсутствия мощных и надёжных источников излучения. Для коммерчески выгодного использования EUV-сканеров требуется, чтобы в час обработку проходило не менее 100 300-мм пластин. Для этого требовалось поднять мощность излучателей до 250 Вт.

Тем не менее, разработчик сканеров, нидерландская компания ASML, смогла по-другому обойти вставшие на её пути трудности. В сканерах ASML 3400B, поставки которых начались на днях, задействован источник излучения 210 Вт и реализована технология ускоренного перемещения пластин внутри сканера. Тем самым скорость выхода пластин у сканера 3400B достигает 125 пластин в час. Это тот уровень производительности, который позволит начать внедрение установок в производственные линии.

Оставьте отзыв

Ваш емейл адрес не будет опубликован. Обязательные поля отмечены *