Компания Sonoscan предлагает [[акустический микроскоп]] модели AW200™ Series C-SAM®, который позволяет контролировать обработанные полупроводниковые пластины диаметром до 200 мм (8 дюймов)
Для проведения анализа необходимо смачивать пластины водой, что может привести к сокрытию дефектов. Чтобы избежать этого, компания разработала специальный преобразователь Waterfall™. После получения акустического изображения, пластина и преобразователь автоматически высушиваются.
Микроскоп AW200 укомплектован высокочастотным преобразователем, способным обнаруживать на поверхности платины частицы диаметром до 5 мкм и толщиной 0.02 мкм. Преобразователь сканирует пластину со скоростью, близкой к скорости C-SAM, самой высокой на сегодня в промышленности. Для работы с пластинами в составе микроскопа предусмотрены два прецизионных манипулятора (robotic arms).
Автоматический анализ акустических изображений, полученных с помощью микроскопа, позволяет выявить такие дефекты, как bonded/non-bonded области, число и размеры пустот, отсутствие герметизации корпусов.