В Росатоме создали полную цепочку производства особо чистого гексафторида вольфрама. Ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта, сообщили в пресс-службе.
Специалисты НПО «ЛУЧ», входящего в научный дивизион госкорпорации «Росатом», создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама, сообщили в пресс-службе «Росатом Наука». Вещество используется в микроэлектронике и других особо точных производствах.
«АО «НИИ НПО «ЛУЧ» в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта», — отметили в преcс-службе.
Как рассказал генеральный директор АО «НИИ НПО «ЛУЧ» Павел Карболин, в настоящее время изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. «Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения, позволяют достичь технологического суверенитета страны», — подчеркнул Карболин.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением, и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
В работе также участвовали специалисты Нижегородского государственного университета имени Н. И. Лобачевского, компании ООО «Ферри Ватт», Института химии высокочистых веществ имени Г. Г. Девятых РАН, Томского государственного университета. В 2023 — 2024 годах работа проводилась в рамках государственного контракта с Минпромторгом РФ.
АО «НИИ НПО «ЛУЧ» (акционерное общество «Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение «ЛУЧ», входит в научный дивизион госкорпорации «Росатом») решает задачи по разработке и обеспечению атомной промышленности тепловыделяющими элементами и сборками для ядерных энергетических установок, а также создает топливные композиции для твэлов нового поколения.