«Микрон» и Зеленоградский нанотехнологический центр подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в целях решения задач импортозамещения оборудования.
«Микрон», производитель российской микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент»), и Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), российский исследовательский центр в области технологий и оборудования микроэлектроники, подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в целях решения задач импортозамещения оборудования. Предметом соглашения является сотрудничество в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм на территории Российской Федерации.
В рамках соглашения планируются работы по постановке технологии производства отечественного оборудования и обеспечению им производственных площадок, проведение совместных исследований, экспериментальных работ и тестирования установок фотолитографического и электроннолучевого оборудования, оборудования контроля привносимой дефектности на собственных производственных площадках, а также организация программ обучения и стажировок специалистов.
Соглашение о сотрудничестве подписано генеральным директором ЗНТЦ Анатолием Ковалевым и генеральным директором «Микрона» Гульнарой Хасьяновой.
«Актуальная задача для микроэлектроники сегодня – развитие электронного машиностроения и технологий, прежде всего фотолитографии. Производство фотолитографа требует мощнейшего научного потенциала, в мире менее 10 стран, способных его производить, в их числе и Россия. В рамках сотрудничества с «Микроном» планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование фотолитографического оборудования с топологическими нормами 350-90 нм, разрабатываемого совместно с белорусским ОАО «Планар», – отметил генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев.
«Фотолитография – ключевая операция в микроэлектронике. Оборудование, которое мы будем осваивать совместно с ЗНТЦ, предназначено для выпуска чипов с топологическими нормами до 350 нм, которые используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах. Импортозамещение оборудования – необходимое условие обеспечения технологического суверенитета», – сказал Гульнара Хасьянова, генеральный директор «Микрон».
Фотолитограф – важнейшее оборудование в техпроцессе, предназначенное для формирования структуры микросхемы на кремниевой пластине, покрытой слоем фоторезиста — полимерного светочувствительного материала.
Микроэлектроника – одна из сквозных и критических технологий, важных для обеспечения задач технологического суверенитета. «Микрон» –отраслевая производственная площадка, открытая для сотрудничества со всеми, кто заинтересован в развитии отечественной компонентной базы, локализации продукции, импортозамещении материалов и развитии русской инженерной школы, технологической базы и производства.